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Electronics

電子ビーム源

蒸着用の電子ビーム源及び蒸着用の電子ビーム用電源です。
当社独自の共振コンバータ(マルチ共振コンバータ)を採用し、広範囲で高効率を実現しています。
電子ビーム源は偏向角度180度タイプ、電源は1チャンネル、2チャンネルのラインアップを揃えています。
(出力電圧-10kV、出力電流1A)

特長

・180度偏向タイプ電子ビーム源
・共振コンバータ方式
・低ノイズ、高効率
・小型、軽量化

用途

・光学市場向け蒸着システム

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