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Electronics

スパッタ用電源

高信頼性はもとより、アーク発生時の高速制御応答、安定した出力特性(30W~300kW)を有しています。又、徹底した熱設計により小型化を実現しました。

特長

マスタースレーブ運転により大容量負荷にも対応。
力率改善回路(PFC)搭載により入力高調波を低減しています。
多段インバータ方式採用によりきわめて少ないアークエネルギーを実現。

用途

・半導体プロセスにおける材料成膜 ・太陽電池パネル、有機EL及び液晶、PDPの成膜

資料

詳細な仕様に関しては以下の資料をご確認ください。

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