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半導体製造装置用電源

半導体成膜(スパッタ)用の電源です。ユニット単体出力は1.5kW~20kWがあり、マスタースレーブ運転により最大300kWまで対応可能です。
(出力電圧-800V、出力電流40A)

特長

・高信頼性(低故障率)
・オプションでアークサプレッサ有
・アーク時高速遮断(1us以内遮断)
・低アークエネルギー(1mJ/kW未満)

用途

・半導体成膜用電源
・スパッタ用電源

資料

詳細な仕様に関しては以下の資料をご確認ください。

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