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成膜（スパッタリング）用電源

電源装置 成膜（スパッタリング）用電源

半導体成膜（スパッタリング）用の電源です。
ユニット単体出力は1.5kW～20kWがあり、マスタースレーブ運転により最大300kWまで対応可能です。
（出力電圧-800V、出力電流40A）

カタログ

カタログダウンロード
  • 詳細な製品仕様および外形寸法図を網羅
  • 多段インバータによる低アークエネルギー
  • 連結運転により最大２４０ｋＷの出力に対応
  • ワイドレンジなインピーダンス特性を解説
  • 各種モデルの機能比較一覧表を掲載
カタログ（PDF）を見る

特長

  • 高信頼性（低故障率）
  • オプションでアークサプレッサ有
  • アーク時高速遮断（1us以内遮断）
  • 低アークエネルギー（1mJ/kW未満）

用途

  • 半導体成膜用電源
  • スパッタリング用電源
  • 成膜（スパッタリング）用電源の用途 半導体製造装置 半導体製造装置

資料

詳細な仕様に関しては以下の資料をご確認ください。

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